SEMI E54.15 - SafetyBUS p에 대한 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양 -

Abstract

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 별도로 발행되어 판매됩니다.

이 표준은 글로벌 정보 및 제어 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2007년 9월 5일에 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 10월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다. 원래는 2005년 2월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2006년 7월.

이 표준은 반도체 제조 장비에서 SEMI 지정 장치 모델(공통 및 장치별)에 따라 작동하는 센서/액추에이터 네트워크(SAN)의 지능형 장치 간 통신을 가능하게 하기 위해 SafetyBUS p 프로토콜을 기반으로 하는 통신 사양을 정의합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스(OSS)
SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 표준
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치에 대한 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

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