SEMI E54.14 - PROFINET용 센서/아크츄에이타넷트워크 통신통신 -

Abstract

本standardは， 글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2008年11月19日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2009年2月にwww.semi. org에서 そして2009년 3 월 にCD-ROM 으로 入手可能となる.

　

참고: 本文書는 SEMI E54一連의 스탄다드를 として出版されず，単独で発行および販売される.

　

本仕様はSEMISENSA/AKTUE ATAnettwork(SAN) standardの一部であり, PROFINETstandardを基本とした特定の通信plotコルを定義する。本nettwork通信スタンダード( NCS )をSEMISEン사／아크츄에이타넷트워크・스탄다드・세트 およびPROFINET 스탄다드와 결합하는 것과 半導体製造装置においてnettwork化された데바이스의 既成の相互運用性に対する業界特有のソリューションを提供するopen・standardが完全かつ明瞭に定義される。

　

PROFINET은 벤다로부터 独立した，오픈형 피르드바스・스탠다드로，製造・proses・建築의 자동화의 분할로 幅広いアプリケーションに適用 される.

　

PROFINET의 애플리케이션, 모델은 PROFIBUS 의 모델과 더 나은 성능, 같은 의미의 대응이 가능합니다.

　

PROFINET은자동화컨트롤・시스템으로분할I/O의데바이스・레베르르로높은비용으로비용을절감할수있도록합니다.

　

本文書はSEMI E54.1準拠의 PROFINET仕様に基づいたSAN통신통신 standardを規定している.本文書自体は,本standardに準拠する인테리젠트・데바이스がSEMI E39に準拠した方法を使ってSANで情報を交換するためにsaport しなければならないprotocol，서비스，および挙動を規定している。

　

本network 通信standade( NCS ) および関連PROFINETstandardは, SEMIstandardSAN共通デバイス・model( CDM )仕様およびSEMIstandad특정데바이스・모델( SDM )仕様（例えばmas・froー・contro-ra）to共に，nettwork-c上のさまざまなデバイス特有のデータ構造，Intaraksion，および挙動について記述している。この混成modelは半導體製造装置に含まれている인테리젠트・센사，アクチュエータ，およびコントローラ相互の通信に関する完全な相互運用性スタンダードとなる.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치용 특정 장치 모델

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