SEMI E54.12 - CC-Link용 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양 -

Abstract

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 별도로 발행되어 판매됩니다.

이 사양은 SEMI 센서/액추에이터 네트워크(SAN) 표준 제품군의 일부이며 CC-Link 표준을 기반으로 특정 통신 프로토콜을 정의합니다. SEMI SAN 표준 제품군 및 CC-Link 표준과 함께 사용되는 이 네트워크 통신 표준(NCS)은 반도체 제조 장비에서 네트워크로 연결된 장치의 기성품 상호 운용성에 대한 산업별 솔루션을 제공하는 개방형 표준을 완전하고 명확하게 정의합니다.

CC-Link는 벤더 독립적인 개방형 장치 수준 네트워크 표준입니다. 벤더 독립성과 개방성은 CC-Link Partner Association에 의해 보장됩니다.

이 문서는 SEMI E54.1을 준수하는 CC-Link 사양을 기반으로 SAN 통신 표준을 지정합니다. 따라서 SEMI E39와 호환되는 방법으로 이 SAN을 통해 정보를 교환하기 위해 호환 지능형 장치가 지원해야 하는 프로토콜, 서비스 및 동작을 지정합니다.

SEMI SAN 공통 장치 모델(CDM) 사양 및 하나 이상의 SEMI 특정 장치 모델(SDM) 사양(예: 질량 흐름 컨트롤러용)과 함께 관련 CC-Link 표준이 있는 이 NCS는 데이터 구조, 상호 작용을 설명합니다. 네트워크에 있는 다양한 장치의 특징인 동작입니다. 이 복합 모델은 반도체 제조 장비의 지능형 센서, 액추에이터 및 컨트롤러 간의 통신을 위한 완전한 상호 운용성 표준을 형성합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 - 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치용 특정 장치 모델
SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

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