SEMI E54.11 - 엔드포인트 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양 -

Abstract

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 별도로 발행되어 판매됩니다.

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크에 대한 SEMI 표준의 구현을 지정하는 표준 제품군의 일부입니다. 이 사양의 특정 목적은 네트워크 독립형을 설명하는 것입니다. 모든 엔드포인트에 공통인 장치 객체로 구성된 애플리케이션 모델 반도체 장비 센서/액추에이터 통신 네트워크의 장치(EPD).

EPD는 일반적으로 프로세스 또는 프로세스 단계의 완료를 알리기 위해 특정 임계값 또는 이벤트를 얻은 시기를 결정하기 위해 프로세스 특성을 측정하고 모니터링하는 장치입니다. 이러한 EPD는 프로세스 환경에서 입자의 크기와 개수를 결정하고, 환경 공간의 샘플 영역에서 광학적 빛을 감지 및 결정하거나, 장비 구성 요소.

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크에서 상호 운용이 가능하도록 EPD가 지원해야 하는 최소 특성, 서비스 및 동작을 구체적으로 다룹니다.

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크에서 높은 수준의 장치 상호 운용성을 보장하는 동시에 제품 차별화 및 기술 발전을 위한 유연성을 허용하기 위한 것입니다.

이 사양에 지정된 모델은 다음에서 사용됩니다. 센서/액추에이터 네트워크 CDM(Common Device Model)과 결합하여 네트워크 인터페이스에서 나타나는 대로 EPD를 완전히 설명합니다.

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크 표준, 센서/액추에이터 네트워크 CDM 및 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양과 함께 EPD에 대한 완전한 상호 운용성 사양을 구성합니다.

이 사양을 준수하기 위해 장치는 최소한 필수 속성, 서비스 및 동작을 구현하고 지원해야 합니다. 이 문서에서 확인되었습니다. 선택적 속성, 서비스 및 동작은 이 사양을 준수할 필요가 없습니다. 선택 과목 속성, 서비스 및 동작은 이러한 문서에 명시되어 있습니다. 기능이 발전하고 더 많은 사람들이 채택함에 따라 추가 장치 상호 운용성 제조업 자. 선택적 속성, 서비스 및 동작이 구현된 경우 이 장치의 경우 이 사양에서 식별된 대로 구현해야 합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E39 — 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E54 — 센서/액추에이터 네트워크 사양

SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양

개정 내역

SEMI E54.11-0316(재승인 0721)

SEMI E54.11-0316(기술 개정)

SEMI E54.11-1106(1211 재승인)

SEMI E54.11-1106(기술 개정판)

SEMI E54.11-1105(기술 개정)

SEMI E54.11-0301(최초 발행)

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