SEMI E54.10 - 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 10월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 5월에 처음 출판되었습니다. 이전에 2011년 11월에 게시되었습니다.

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 별도로 발행되어 판매됩니다.

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크에 대한 SEMI 표준의 구현을 지정하는 표준 제품군의 일부입니다. 이 사양의 특정 목적은 반도체 장비 센서/액추에이터 통신 네트워크의 모든 현장 입자 모니터 장치에 공통적인 장치 객체로 구성된 네트워크 독립 응용 프로그램 모델을 설명하는 것입니다.

현장 입자 모니터(ISPM)는 입자를 측정하고 계수하는 장치입니다. 이러한 장치는 환경 공간의 샘플 영역에서 빛을 감지하는 것과 같은 기술을 사용하여 환경(기체, 액체 또는 진공)의 입자를 크기 및 개수별로 분류합니다. 이러한 개수는 저장소에 누적된 다음 보고됩니다. 저장소의 수는 공급업체 및 모델에 따라 다릅니다.

이 사양은 특히 ISPM 장치가 센서/액추에이터 네트워크에서 상호 운용이 가능하도록 지원해야 하는 최소 특성, 서비스 및 동작을 다룹니다.

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크에서 높은 수준의 장치 상호 운용성을 보장하는 동시에 제품 차별화 및 기술 발전을 위한 유연성을 허용하기 위한 것입니다.

이 사양에 지정된 모델은 센서/액추에이터 네트워크 CDM(Common Device Model) 표준인 SEMI E54.1과 함께 네트워크 인터페이스에서 나타나는 ISPM을 완전히 설명하는 데 사용됩니다.

이 사양은 SEMI E54, SEMI E54.1 및 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양 중 하나와 함께 ISPM에 대한 완전한 상호 운용성 사양을 구성합니다.

이 사양을 준수하기 위해 장치는 최소한 이 문서에서 식별된 필수 속성, 서비스 및 동작을 구현하고 지원해야 합니다. 선택적 특성, 서비스 및 동작에 대한 지원은 이 사양을 준수하는 데 필요하지 않습니다. 기능이 발전하고 더 많은 제조업체에서 채택함에 따라 추가 장치 상호 운용성을 촉진하기 위해 선택적 속성, 서비스 및 동작이 이 문서에 지정됩니다. 선택적 특성, 서비스 및 동작이 이 장치에 대해 구현되는 경우 이 문서에서 식별된 대로 구현되어야 합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54 — 센서/액추에이터 네트워크 사양
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.