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SEMI E54.10 - in-situ 파티클모니터 데바이스 관련 센사/아크츄에이타넷트워크 특정 데바이스 모델 제작 -
Abstract
本standaredは， global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서 2000년 5 월 11일 행.
참고: 本文書는 SEMI E54一連의 스탄다드를 として出版されず，単独で発行および販売される.
注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された.
本仕様はsenssa/AkchueyotanettworknottaumeのSEMIstandadeーのInprimentationを規定する一連のstandardの一つである.本仕様の具體的な目的は,半導體装置senssa/アクチュエータ通信netトworkにあるIn- Situpartycrud 모니타 데바이스스베 て에 共通の데바이스 오브제크트で構成されているnettworkに依存しないアアプリケーションモデルを記述する ことである.
참조된 SEMI 표준
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 표준
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
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