SEMI E54.9 - TCP/IP를 통한 Modbus/TCP용 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2008년 5월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2008년 7월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2000년 2월에 처음 출판되었습니다. 이전에 출판된 2006년 7월.

알림: 이 문서는 더 이상 SEMI E54 표준 세트와 함께 발행되지 않습니다. 별도로 발행되어 판매됩니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 표준은 SEMI 지정 장치 모델에 따라 작동하는 센서/액추에이터 네트워크(SAN)의 지능형 장치 간 통신을 가능하게 하기 위해 TCP/IP(Transmission Control Protocol/Internet Protocol) 네트워크를 통한 Modbus/TCP 프로토콜 기반의 통신 사양을 정의합니다. (공통 및 장치 특정) 반도체 제조 도구에서.

TCP/IP를 통한 Modbus/TCP는 제어 수준 산업용 장치(예: 센서 및 액추에이터)와 컨트롤러와 같은 상위 수준 장치 간에 데이터를 교환하는 간단하고 저렴하며 빠른 수단을 제공하는 구성 요소 수준 네트워크입니다. TCP/IP를 통한 Modbus/TCP는 다음을 제공합니다.

• 낮은 수준의 장치 네트워킹에 대한 솔루션,

• 저수준 장치에 존재하는 인텔리전스에 대한 액세스,

• 상위 컨트롤러 간의 네트워킹 및

• 마스터/슬레이브 및 피어 투 피어 통신 기능.

Modbus/TCP는 통신 모델 및 프로토콜을 지정합니다. 물리적, 데이터 링크 및 네트워크 계층 정의는 TCP/IP 이더넷과 같이 Modbus/TCP 프로토콜이 내장된 네트워크에 의해 정의됩니다.

이 문서는 TCP/IP 네트워크를 통해 Modbus/TCP에 대한 공통 및 특정 장치 네트워크 가시적 구조 및 동작의 프리젠테이션 매핑을 제공하여 SEMI 준수 SAN에서 지능형 장치 간의 통신을 가능하게 합니다.

이 문서는 이 반도체 장비 센서/액추에이터 네트워크를 통해 정보를 교환하기 위해 호환 지능형 장치가 지원해야 하는 프로토콜 및 서비스를 지정합니다.

이 문서는 TCP/IP 네트워크를 통한 Modbus/TCP 프로토콜에 대해 공통 장치 모델(CDM) 및 적절한 특정 장치 모델(SDM)에 지정된 외부에서 볼 수 있는 장치 구조 및 동작을 제시하기 위한 Modbus/TCP 프로토콜의 활용을 지정합니다. .

이 문서는 SEMI 표준 SAN 일반 장치 모델 사양, 하나 이상의 SEMI 표준 특정 장치 모델(SDM) 사양(예: 질량 흐름 장치용), Modicon Modbus 프로토콜 참조 가이드 및 Open Modbus/TCP와 함께 사용됩니다. 사양. 이들은 함께 Modbus/TCP 프로토콜, 외부에서 볼 수 있는 데이터 구조 및 SEMI 준수 SAN 시스템에서 Modbus/TCP 네트워킹 기능을 활용하는 장치의 동작을 설명합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스(OSS)
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 - In-Situ 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치에 대한 사양 장치 모델
SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.