SEMI E54.8 - PROFIBUS 관련 센서/아크츄에이타넷트워크 통신 통신 -

Abstract

本standardは， 글로벌정보통제 위원회で技術的に承認されている。現版は2008年11月19日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2009年2月にwww.semi. org로，そして2009年3月にCD -ROMで入手可能となる。 初版は1999年9月に発行、前版は2005年3月に発行された。

　

참고: 本文書는 SEMI E54一連의 스탄다드를 として出版されず，単独で発行および販売される.

　

本仕様はSEMISENSA/AKTUE ATAnettwork(SAN: 센서/액추에이터 네트워크) standard・gluープの一部であり, PROFIBUSstandadedに基づいた独自の通信protコルを定義するものである。このnett WORK 通信 standard（ NCS: 네트워크 커뮤니케이션 Standard ), SEMIsenssa/아크츄에이타넷트워크・스탠다드그루프오네비PROFIBUS스탄다드전부로 일개노오픈스탄다드は半導体製造装置内でnettwork化されたデバイスに標準仕様として相互運用性を持たせるための業界独自の方法を提供する ことになる.

　

PROFIBUS 는 벤다로부터 独立した，오픈형 피르드바스・스탄다드로，製造・proses・建築의 자동화의 분할야로 幅広いアプリケーションに適用 される。bendaーからの独立性 および公開性はPROFIBUSに関する요롭파・스탄다드 IEC 61158 부품 2부터 6부와 IEC 61784-1에 따라 보호할 수 있습니다.ストの接続性を確立できるよう最適化されている.

　

本文書はSEMI E54.1準拠의 PROFIBUS仕様に基づいたSAN통신 스탄다드を規定している.本文書自体は, 本standードに準拠する 인테리젠트데바이스がSEMI E39に準拠した方法を使ってSANで情報を交換するためにsaポートしなければならないprotocol，サーbis，および挙動を規定している。

　

本network 通信standade( NCS ) および関連PROFIBUSstandadeardは, SEMIstandardSAN共通debaismodel( CDM: Common Device Model )仕様およびSEMIstandade특정데바이스모델( S DM ）仕様（例えばマスフローコントローラやパーティクルのその場観察装置あるいはEndポイントデバイス等に関する仕様など）と共に，nettwork 上のさまざまなデバイス特有のデータ構造，Intaraksion，および挙動について記述している。この混成modelは半導体製造装置に含まれている interigentcensa，아크츄에이타，およびcontro-ra相互の通信に関する完全な相互運用性スタンダードとなる.

참조된 SEMI 표준

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치용 특정 장치 모델
SEMI E54.18 - 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

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