SEMI E54.4 - DeviceNet용 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양 -

Abstract

이 표준은 반도체 제조 도구에서 SEMI 지정 장치 모델(공통 및 장치별)에 따라 작동하는 센서/액추에이터 네트워크(SAN)의 지능형 장치 간 통신을 가능하게 하기 위해 DeviceNet® 프로토콜을 기반으로 하는 통신 사양을 정의합니다.

배경 및 동기 — DeviceNet은 단순한 산업용 장치(예: 센서 및 액추에이터)와 컨트롤러와 같은 상위 수준 장치 간의 네트워킹을 제공합니다. DeviceNet은 다음을 제공합니다.

• 낮은 수준의 장치 네트워킹에 대한 솔루션입니다.
• 저수준 장치에 존재하는 인텔리전스에 대한 액세스.
• 마스터/슬레이브 및 피어 투 피어 기능.

DeviceNet은 CAN(Controller Area Network) 기술을 기반으로 합니다. CAN은 미디어 액세스 제어(MAC) 방법론과 물리적 신호 특성을 정의합니다. DeviceNet은 완전한 네트워크 정의를 제공하기 위해 CAN 주변의 완전한 물리 계층 정의뿐만 아니라 통신 모델 및 프로토콜을 래핑합니다.

이 사양은 DeviceNet 네트워크에 대한 공통 및 특정 장치 네트워크 가시적 구조 및 동작의 프리젠테이션 매핑을 제공하여 SEMI 호환 SAN에서 지능형 장치 간의 통신을 가능하게 합니다.

이 표준은 이 반도체 장비 SAN을 통해 정보를 교환하기 위해 호환 지능형 장치가 지원해야 하는 프로토콜 및 서비스를 지정합니다.

이 표준은 DeviceNet 네트워크에서 공통 장치 모델(CDM) 및 적절한 특정 장치 모델(SDM)에 지정된 외부에서 볼 수 있는 장치 구조 및 동작을 나타내기 위해 DeviceNet 프로토콜의 활용을 지정합니다.

이 사양은 SEMI E54.1, 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양 및 하나 이상의 SEMI 표준 관련 장치 모델 사양(예: 질량 흐름 컨트롤러[MFC]용)과 함께 사용됩니다. 이들은 함께 SEMI 호환 SAN 시스템에서 DeviceNet 네트워킹 기능을 사용하여 외부에서 볼 수 있는 데이터 구조와 장치의 동작을 설명합니다.

이 표준은 SAN 상호 운용성 지침, SAN CDM, 하나 이상의 SAN 특정 장치 모델 문서 및 DeviceNet 사양과 함께 완전한 상호 운용성 표준을 형성합니다. 일반적인 SAN 문서 아키텍처는 그림 1 의 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준에 나와 있습니다 .

참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E39 — 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양
SEMI E54.3 — 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.10 — 현장 입자 모니터 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.11 — 엔드포인트 장치에 대한 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.18 - 진공 펌프 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.22 — 진공 압력 게이지용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양
SEMI E54.24 - 일반 장비 네트워크 센서(GENSen)의 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양

개정 내역
SEMI E54.4-0422(기술 개정)
SEMI E54.4-0316(기술 개정)
SEMI E54.4-1111(기술 개정)
SEMI E54.4-0704(기술 개정)
SEMI E54.4-0997(최초 발행 - SEMI E59 대체)

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