SEMI E54.3 - 질량 흐름 장치용 센서/액추에이터 네트워크 특정 장치 모델 사양 -

Abstract

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이 사양은 센서/액추에이터 네트워크에 대한 SEMI 표준의 구현을 지정하는 표준 제품군의 일부입니다. 이 사양의 특정 목적은 반도체 장비 센서/액추에이터 통신 네트워크의 모든 MFD(질량 흐름 장치)에 공통적인 장치 객체로 구성된 네트워크 독립적 애플리케이션 모델을 설명하는 것입니다.

이 사양은 MFC(질량 유량 컨트롤러) 및 MFM(질량 유량계) 장치가 센서/액추에이터 네트워크에서 상호 운용이 가능하도록 지원해야 하는 최소 속성, 서비스 및 동작을 구체적으로 다룹니다.

이 사양은 높은 수준의 센서/액추에이터 네트워크에서 장치 상호 운용성을 유지하면서 제품 차별화 및 기술 진화를 위한 유연성.

이 사양에 지정된 모델은 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델(CDM)과 함께 사용되어 네트워크 인터페이스에서 나타나는 MFC 또는 MFM을 완전히 설명합니다.

이 사양은 센서/액추에이터 네트워크 표준, 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 및 센서/액추에이터 네트워크 통신 사양과 함께 MFC 및 MFM에 대한 완전한 상호 운용성 사양을 구성합니다.

이 사양을 준수하기 위해 장치는 최소한 이 문서에서 식별된 필수 속성, 서비스 및 동작을 구현하고 지원해야 합니다. 선택적 특성, 서비스 및 동작에 대한 지원은 이 사양을 준수할 필요가 없습니다. 기능이 발전하고 더 많은 제조업체에서 채택함에 따라 추가 장치 상호 운용성을 촉진하기 위해 선택적 속성, 서비스 및 동작이 이 문서에 지정됩니다. 선택적 속성, 서비스 및 동작이 이 장치에 대해 구현되는 경우 이 표준에서 식별된 대로 구현되어야 합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E12 — 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 표준화된 압력, 온도, 밀도 및 유량 단위에 대한 가이드

SEMI E39 — 개체 서비스 사양: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E52 — 디지털 질량 흐름 컨트롤러에 사용되는 가스 및 가스 혼합물 참조 실습(SEMI AUX030으로 대체됨)

SEMI E54.1 — 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양

개정 내역

SEMI E54.3-0698(재승인 0721)

SEMI E54.3-0698(재승인 0616)

SEMI E54.3-0698(재승인 1110)

SEMI E54.3-0698(0704 재승인)

SEMI E54.3-0698(최초 발행)

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