SEMI E54 - 센서/액추에이터 네트워크 사양 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2015년 12월 4일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2016년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1997년에 출판되었습니다. 이전에 2013년 4월에 게시되었습니다.

알림: 이전에 SEMI E54(센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준)로 지정되었던 표준이 SEMI E54.1로 재지정되었습니다. 센서/액추에이터 네트워크 표준은 상위 문서이므로 SEMI E54로 지정되었습니다.

이 사양은 SEMI의 센서/액추에이터 네트워크(SAN) 표준의 구조를 제공합니다. SEMI SAN 표준을 준수하는 센서/액추에이터 장치에 대한 상호 운용성에 대한 정의를 제공합니다.

이 표준은 장치가 장비 제어 시스템의 일부로 네트워크에서 상호 운용되는 방식을 지정합니다.

SAN 표준의 루트인 이 사양은 SEMI SAN 표준의 구성 요소인 다른 각 사양의 관계를 정의합니다.

 

종속 문서:

SEMI E54.1-0316 - 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 사양

SEMI E54.2-0316 - 센서/액추에이터 네트워크(SAN) 문자 투표용지 작성 가이드

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양

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