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SEMI E54 - 센사/아크츄에이타넷트워크의 스탠다드 -
Abstract
本standaredは, global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2013年3月14日, global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2013年4月にwww.semiviews .org およびwww.semi.org 에서 1997년 7월 20 일 이전.
참고: SEMI E54는 SEMI E54.1 의 再承認を反映して, 0413 의 出版西クルで更新された입니다.
참고: 以前SEMI E54(센사/아크츄에이타넷트웍스통데바이스모델노트의 스탠다드)와 이전 SEMI E54. standardが親となる文書であるため,それがSEMI E54 와 함께.
本仕様はSEMI의 센사/아크츄에이타넷트워크(SAN)스탄다드を提供する.これにはSEMI SAN스탄다드準拠의 센사/아크츄에이타데바이스に関する相互運用の性定義が規定されている.
이 스탄다드로는 데바이스가 시스템의 한 부분으로 てどのようにnettworkで相互に働き合うのかを規定する.
この仕様はSANstandardの基になるものであり, SEMI SANstandardkonpo-nentの仕様書間の相互関係を定義している.
하위 문서:
SEMI E54.1-0708(재승인 0413) - 센서/액추에이터 네트워크 공통 장치 모델 표준
SEMI E54.2-0698(재승인 0710) - 센서/액추에이터 네트워크(SAN) 표준 투표 작성 가이드
참조된 SEMI 표준
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
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