SEMI E53 - 이벤트 보고 -

개정: SEMI E53-0704 - 비활성

개정

Abstract

이 표준은 글로벌 정보 및 제어 위원회에서 기술적으로 승인했으며 일본 정보 및 제어 위원회의 직접적인 책임입니다. 2004년 4월 30일 일본 지역 표준 위원회에서 승인된 현재 버전. 2004년 6월 www.semi.org에서 처음 사용 가능. 2004년 7월 발행 예정. 원래 1996년 12월 발행.

 

장비의 프로세스 데이터에 대한 액세스는 반도체 제조 시설에서 효과적인 프로세스 모니터링 및 제어에 매우 중요합니다. 이 표준은 이러한 데이터의 적시 수집 및 보고와 관련하여 셀 컨트롤러 또는 레시피 서버와 같은 반도체 장비 및 기타 공장 개체의 통신 요구를 해결합니다. 이 표준의 목적은 장비 공급자가 제공할 수 있는 범용 이벤트 보고 서비스 세트를 제공하는 것입니다. 이 문서는 상위 수준의 응용 프로그램 도메인을 다루는 다른 표준에서 전체적으로 또는 부분적으로 참조할 수 있습니다. 여기에 정의된 통신 서비스는 독립 시스템의 표준 기반 상호 운용성을 가능하게 합니다. 이러한 서비스의 존재를 가정할 수 있는 애플리케이션 소프트웨어를 개발하고 이를 제공하는 소프트웨어 제품을 개발할 수 있도록 허용해야 합니다.

 

하위 표준:

SEMI E53.1-0704 - 이벤트 보고 표준을 위한 SECS-II 지원

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E38 - 클러스터 도구 모듈 통신(CTMC)
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E39.1 — 개체 서비스 표준(OSS)용 SECS-II 프로토콜
SEMI E40 — 공정 관리 표준

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