SEMI E52 - 디지털 질량 흐름 컨트롤러에 사용되는 가스, 가스 혼합물 및 증발 가능한 재료를 참조하기 위한 실습 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2014년 5월 12일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 2013년 12월에 게시되었습니다.

알림: 이 문서는 더 이상 글로벌 기술 위원회에서 지원하지 않습니다. SEMI AUX030으로 대체되었습니다.

질량 흐름 장치에서 사용될 때 가스 및 가스 혼합물에 대한 순서 참조를 제공하는 반도체 산업에서 사용되는 가스 및 가스 혼합물의 수치 지수를 제공합니다. 이 색인 또는 목록은 디지털 질량 흐름 장치의 생산 및 사용을 용이하게 합니다.

목록에는 질량 흐름 장치에 사용할 수 있는 가스, 가스 혼합물 및 기화 가능한 물질이 포함됩니다. 이 목록은 기존 DOT/OSHA 또는 기타 식별 시스템을 대체하는 것이 아니라 보완합니다. 사용하기 쉽도록 목록은 가스 코드, 가스 이름, 가스 및 증발 가능한 물질의 기호, 가스 혼합물의 코드 및 혼합 비율별로 정렬되어 표시됩니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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