SEMI E51 - 일반 시설 서비스 및 종단 매트릭스 가이드 -

Abstract

이 가이드는 글로벌 시설 위원회에서 기술적으로 승인했으며 북미 시설 위원회의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 1999년 12월 15일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 2000년 1월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2000년 2월에 출판될 예정입니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 1998년 2월.

이 가이드의 목적은 기존 고객 시설, 시스템 및 서비스에 대한 영향을 최소화하면서 시기 적절하고 비용 효율적인 도구 설치를 보장하고 공급되는 시설(예: 물, 가스, 화학 물질, 전기)의 품질을 보장하는 것입니다. 도구 내부에서 한 번 손상되지 않습니다. 이 가이드는 "일반적인" 고객 사이트의 연결 지점(POC)에서 사용 가능한 시설에 대한 이해를 장비 공급업체에 제공합니다. Tool 제조사가 Tool 설계 시 이러한 일반적인 설비 서비스를 고려한다면 각 Tool 설치에 따른 추가 비용 및 Lead Time을 최소화하여 반도체 장비 구축 및 설치 비용을 절감할 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E6 — 시설 인터페이스 사양 지침 및 형식
SEMI E7 — 미국 전용 전기 인터페이스 사양
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E33 — 반도체 제조 시설 전자기 호환성 사양
SEMI E49 - 반도체 제조 장비용 고순도 배관 시스템 및 최종 조립을 위한 표준 성능, 관행 및 하위 조립에 대한 가이드
SEMI F47 — 반도체 공정 장비 전압 강하 내성 사양

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