SEMI E48 - SMIF인덱사용 공간이 필요한 경우 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本仕様は， Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committeeで技術的に承認されたもので，European Equipment Automation Committeeが直接責任を負うものである.現版は2001年4月24日にEuropean Regional Standards Committeeにて承認された。2001年8月にまずwww.semi.orgで入手可能になり，2001年11月発行に至る。初版は1995年発行，前版は2001年7月発行。

　

本仕様の目的は，単一もしくは多数のポートを持ったツールに，SMIF의統合を可能にするために，ツール内に必要とする空間を用意することである.

　

本仕様は，인타페스면に関してツール内に必要なSPースを定義する。この仕様は，標準메카니카루인타페스 (SMIF) 스탄다드，SEMI E19に言及する.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)

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