SEMI E47 - 150 mm/200 mm용 폿드핸들 사양 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：　

このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用各位の便宜のために作成したものです一一万が英語と日本語とに差異がある場合に

は英語版記載内容が優先されます｡ SEMIstandard日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）.

 

실제 인터페이스 및 캐리어 글로벌 기술 위원회(Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee) で技術的に承認されている.現版は2011年12月24日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年5月にwww. semiviews.org www.semi.org에서 1995년 11월 20일 이전 . 2006년 11 월 2일

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

本仕様は，自動ポッド操作を可能にするポッド手手のための一體構造 および配置を規定するものである.

　

本仕様は， 150 mm/200 mmのポッドについて，HANDRUNO 寸法と配置を定める。これらは，自動操作であるが，手動操作も考慮している。個々の手動手の設計は, この基準の寸法的な制限内で完成させることは自由である.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E19.3 — 150mm SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E19.4 - 200mm SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼를 운송하고 보관하는 데 사용되는 박스 및 포드의 기계적 사양
SEMI T4 — 150mm 및 200mm 포드 식별 치수 사양

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