SEMI E46 - ion移動度分光計(IMS)を用 した minienbairomentからの有機汚染分析の試験方法 -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本standaredは， Metrics Global Technical Committeeで技術的に承認されている。현재 는 200 ７年1月18日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2007年2月にwww.semi. org 로 .

　

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本試験方法の目的は，ion移動度分光計(IMS)提供することである.

　

本試験方法は， SEMI E108の代替方法として考えられている。SEMI E108と本文書との主な相違点は，SEMI E108が測定技術としてgaskromatgrafi／質量分析法と熱脱離との組み合わせに基づく試験方法を規定しているのに対し，本standardは，ion移動度分析法 (IMS)に基づいていることである。SEMI E108による試験方法と本文書による法試験方の結果は，単位が異なる。

 

미니엔바이로먼트を通過したり，미니엔바이로먼트中に保管されるシリコンウェーハは，構造材料に起因する有機汚染によって影響を受ける。この汚染についての知識は，半導体製造においてminienbairomentの使用を決定する上での助けとなる.

　

IMS는 表面의 有機機汚染を測定する, 容易で，広汎に使用可能で，ぶれが少なくしかも感度の高い方法であることから，この汚染の測定法として選ばれている。

　

さらに， IMSは，prosesからの汚染の影響のcheckic，化学物質の캘리오바，半導体技術に用いる未来のphorimaー素材の特性づけのための可能性を付与する.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E108 — 가스 크로마토그래피/질량 분광법을 사용하여 미니 환경에서 가스 방출 유기 오염 평가를 위한 테스트 방법

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