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SEMI E42 - レシピ管理 standard:콘셉트,挙動,およびメッセージサーbis -
Abstract
本stanダードは,글로벌 정보관리위원회で技術的に承認されたもので일본정보관리위원회が直接責任を負うものである.現版は2004年4月30日に일본지역표준위원회にて承認された。 2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能になり,2004年7月発行に至る。初版は1995年9月発行。前版は2000年2月に出版された。
e 出版 出版 スタンダード スタンダード に 関し て 編集 編集 上 1999 年 9 月 月 付け で で 修正 が 行わ 行わ れ れ れ れ 暫 版 版 ではなくなっ た 修正 修正 は は1.2項 に対して 行わ 行わ れ た。。。
このスタンダードはレシピ管理に必要とされるコンセプト,レシピ管理 スタンダード(RMS )が規定する오페레이션あるいは挙動,および,서비스프로바이다토ユーザ間のintaferースを介してそのサービスを行うのに使われる멧세이지를 定義する.
目的
- 이 스탠다드의 目的は二つある:
範囲
-これは,半導体工場内での自動化されたレシピ管理の統合化をsaportatsurutameのconcept,挙動,およびサーbisを定義するstandudeである。 これらのサーbisは,従来のホスト/装置の関係およびクラスタツールコントロラ/付属モジュール通信および コントロールの関係も含む,さまざまな関係に適用できる。
本standaredは,시스템が半導体製造装置およびsystem内で材料が正しく処理されるようにレシピを転送し,管理する ことができるような通信서비스を提供する。 RMSでは完璧を期するために, SEMI E39 (오브제크트서비스스탄다드(OSS):콘세프트,挙動および書-bis)にも準拠する ことが要求されている.
この文書にはいくつかの異なる階層関係が書かれている:監視するものと監視されるもの,レシピとそのサブレシピ,レシピクラスとそのサブクラスなど。こういった階層関係は,電話切り替えSystemy ディレクトリtriーといった数多くのさまざまな種類のsystemeに反映されている,自然で組織的・分類的な構造を提供する。密な階層関係を実装するよう要求することではなく,むしろ,論理的な階層関係をサポートする ことである.
종속 문서:
SEMI E42.1-0704 — 레시피 관리 스탠다드( RMS ) 관련 SECS-II 프로트코르스탄다드
참조된 SEMI 표준 SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성 및 유지보수성(RAM)의 정의 및 측정을 위한 표준
SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E42 — 레시피 관리 표준: 개념, 동작 및 메시지 서비스
SEMI E53 — 이벤트 보고
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