SEMI E41 - 예외 관리 스탠다드 -

Abstract

相互に作用する例外の取り扱いが，工場で自動化された制御を保守する場合の障害回復能力を向上させる。このスタンダードは，半導体製造環境における装置の例外処理において코뮤니케이션の必要性を提起する.

　

このスタンダードは，装置の異常な状況に関する相互作用と効果的な報告の為に例外エージェントによって提供された機能を規定する。それは，例外処理の概念，相互に作用する例外処理に関連する装置の動き，提供された機能性の為に必要とされる멧세이지서비스を説明する。

　

ここでは，独立したsystemのstandardをベースとした，相互接続性を可能にする コミュニケーションサービスが定義された。これらの，サーbisの存在を仮定できるアプリケーションソフトウェアの開発と，これらを提供する，소후트웨어製品の開発を認めるべきである.

　

自動化された例外処理の実装は，Eraー回復時間を減少させ，多くの状況において装置制御を自動からマニュアルに切り換える事を避ける手助けになる。standardの採用は，適合する装置のconpo-netentを統合する為に，要求された努力を多いに減らすだろう。適合性はstandardsur-bisno明確なsettoを要求する.

　

이 스탄다드의 현재는 範囲は, クラスタツールでの相互に作用する例外の取り扱いである.

　

提供された機能が，他のmarcituriso-sik ippmentに適用されている間には，すべての装置taipに工場による自動化された管理と制御に必要な柔軟性を提供しないかもしれない. このスタンダードは，装置のすべてのタイプの工場による，마르치리소스이크립먼트の他のタイプの例外処理に適応させる為に拡張されるであろうと予想される.

　

このスタンダードは，例外エージェントによって決定者に対する，アラームを含む例外条件の報告をsaポートする。例外エージェントは，同様にそれぞれの例外条件の報告を可能にしたり，不可にしたりする機能を持っている.

　

相互作用的例外の取り扱いは，ある状況の回復動作の決定者による選択を通してsaポートされる。回復動作は，異常な状況の解決の目標として例外 エージェントにより行われる。そして通常の装置の操作を続ける事を許す.

　

このスタンダードは，概念と動作からメッセージサーbisに至るまでの解決法を提供する。

　

멧세이지서비스는, 멧세이지가内容として持つデータの定義와 交換する멧세이지의 識別を含む。しかし，いかにメッセージを交換したか，いかにデータをメッセージで表現したか，そしてメッセージのストラクチャ（構造）は含まない.この追加の情報は，멧세이지프로트코르니에含まれている。

　

定義されたプロトコルは，複数のプロトコルに適用されるかもしれない。特別なもしれない。特別なもしれない。特別なももしれない。特別なもしれない。特別なもしれない。特別なもも，付属のstandardとして追加された.

　

サーbisは, サーbisのprobaidato サービスの使用者の間で，信頼できるコネクションが確立されている코뮤니케이션環境を仮定している。コネクションの確立，維持，解放とコミュニケーション失敗の取り扱いは，이 스탄다드の範囲外である。

 

종속 문서:

SEMI E41.1-0996 — SECS-II 의 사포트에 대한 외부 작업의 예

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

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