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SEMI E33 - 半導體製造装置の電磁適合性(EMC)관련 가이드 -
Abstract
本standared는, global Metrics Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8 月30日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年10月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 入手可能となる.初版は1994年発行.
注意:本文書は， 2012年，全面的に改訂された.
本gaidの目的は，半導体debaisno 製造に使用される半導体製造装置が，電磁障害（EMI：electromagnetic interference）に起因する故障なしに，信頼をもって運転する ことを確実にする手助けのための推奨である.この望ましい特性は「電磁適合性」( EMC: 전자파 적합성 )として一般に知られている.
本gaidは，半導体debais製造を目的として建設された装置に適用する.ス装置，計量装置，検査装置，自動装置，および情報技術装置である。いくつかの用語は，半導体の設備・装置に特化される。
本gaidの主な焦点は，半導体debaisno製造に使用される半導体製造装置であるが，本gaidは，関連製品（例えば，液晶やMEMS ）の製造に使用される装置に適用される場合もある。
참조된 SEMI 표준
SEMI E78 — 장비의 ESD(정전기 방전) 및 ESA(정전기 끌림) 평가 및 제어 가이드
SEMI F47 — 반도체 공정 장비 전압 강하 내성 사양
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