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SEMI E30.1 - 検査 および評価特定装置model(ISEM) -
Abstract
本standardは，글로벌정보통제 위원회 で技術的に承認されている。現版は2009年1月2日，global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2009 年2 月にwww.semi. org로，そして2009年3月にCD-ROM で入手可能となる。初版は1998 年6 月，前版は2006 年11 月に出版された.
本standadudeでは検査および評価装置(ISEM )のための特定装置model(SEM )を確立している.modelはSEMI E30基本要求条件および追加性能に加えて実装されることになる装置特性 および挙動で構成され ている.このスタンダードの目的は自動（半導体製造）工場へのISEM装置の設置を促進する ことである.たISEM装置の오페레이션모델を定義することによって目的を達成している.この定義には스탄다드호스트인타페스 および装置の오페레이션 挙動ど）が書かれている。基板patternmapp，欠陥分類コード管理，および評価データ管理などの項目では, このスタンダードの範囲内の活動がさらに必要とされている.
참조된 SEMI 표준
SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스
SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스 단일 세션 모드(HSMS-SS)
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정을 위한 사양
SEMI M21 — 데카르트 배열의 직사각형 요소에 주소를 할당하기 위한 사양
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