SEMI E30 - 製造装置の通信およびコントロールのための包括的model（GEM） -

Abstract

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免責事項： このSEMIstandadeは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

改訂の記録－本書がGEMstandardの最初のリリースである.

 

範囲－ GEMstandadeの範囲は通信rinkを通してみた半導体製造装置の動作を定義することに限られるホstと装置の間で交わされるメッセージーよび関連データ項目についてはSEMI E5 （SECS-II ）스탄다드가정의해ている。GEMstandadeは，どのような状況で，どのSECS-IImasheijiを使い，その結果どのような動作が起こるかとを定義する。GEM ，SECS-II ，および通のためのその他の選択肢の関係を図1に示す.

GEM스탄다드에는 통신 신용 링크로의 호스트 콘퓨타의 움직임을 정의하기 위한 의사결정이 없습니다.ができ，装置はGEMstandardに書かれているように応答する。hostか装置のどちらかがあるGEM멧세이지시나리오を開始した場合，호스트가適切なGEM멧세이지を使っていれば装置はGEMstandに書かれているとおりに動作する.

　

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양

SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스

SEMI E139 - 레시피 및 매개 변수 관리 사양(Ra P )

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