SEMI E29 - 마스후로콘트로라及び마스후로메이타노校正のための標準用語 -

Name: E02900 - SEMI E29 - 마스후로콘트로라及び마스후로메이타노校正のための標準用語
Brand: semi.org
SKU: 8159
Price: 286000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩286,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E29-93(0710 재승인) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standanardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010年6 月にwww.semi.org で入手可能となる. 初版は1993 年発行。前版は2004 年11 月発行。

本standaードは，masfro-controra及びmasfloーメータの校正のために通常使用される用語を定義する.これらの用語はメーカー及びユーザで広く使用されることを目的にしている.

참조된 SEMI 표준

SEMI E12 — 질량 유량계 및 질량 유량 컨트롤러에 사용되는 유량 단위의 표준 압력 및 표준 온도에 대한 표준
SEMI E18 — 질량 유량 컨트롤러의 온도 사양에 대한 지침
SEMI E28 — 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 지침

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SEMI E29 - 마스후로콘트로라及び마스후로메이타노校正のための標準用語 -

本standaードは，masfro-controra及びmasfloーメータの校正のために通常使用される用語を定義する.これらの用語はメーカー及びユーザで広く使用されることを目的にしている.

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