SEMI E27 - 마스플로 콘트로라 오야비 마스플로 미터의 직선성 가이드 -

Name: E02700 - SEMI E27 - 마스플로 콘트로라 오야비 마스플로 미터의 직선성 가이드
Brand: semi.org
SKU: 8157
Price: 287000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩287,000

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI E27-0611 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 1992년 9월 20일. 2004년 11 월.

本gaidlineの目的は，masfroー装置の製造者とユーザ間の混乱および誤解を防止するために，統一のとれた，世界中に通用する直線性定の義を確立することである。直線性の仕様は，마스포콘트로라(MFC)の出力側のレベルが既知である点以外の不明確な出力側の既知レベルに対する予測を行うのに使用される。

참조된 SEMI 표준

없음.

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