Design of Experiments - SEMI Dev 2

실험 설계

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이 과정은 DOE(Design of Experiments)라고 하는 많은 반도체 제조 작업에서 사용되는 중요한 분석 프로세스를 다룹니다. 실험 설계는 제조 공정을 최적화하고 안정화할 때 사용되는 방법론입니다. 여기에는 ANOVA와 같은 통계 분석을 사용하여 입력 변수 또는 요소가 프로세스에 어떻게 영향을 미치는지, 입력 요소를 기반으로 출력 또는 응답의 차이가 발생하는 방식을 식별하는 것이 포함됩니다.

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