SEMI D54 - FPD 생산 기판 관리 사양(SMS-FPD) -

Abstract

이 표준은 글로벌 평면 패널 디스플레이 – 공장 자동화 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2009년 5월 13일 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2009년 6월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

E 이 표준은 편집 오류를 수정하기 위해 2009년 10월 편집상 수정되었습니다. ¶¶ 7.3.4.2, 10.2.3.4, 10.2.3.5 및 10.2.3.6이 변경되었습니다.

FPD의 생산 라인에서 자동화 진화가 진행 중입니다. 그러나 현실은 각 팹이 자체 사양으로 장비를 제어한다는 것입니다. 이로 인해 자동화 비용과 설비의 리드타임 측면에서 막대한 손실이 발생했다. 또한 FPD 생산에서 대형 기판 크기로의 마이그레이션으로 인해 단일 기판 이송과 같은 새로운 요구 사항을 충족할 필요성이 증가하고 있습니다. 이 문서는 FPD 팹의 AMHS(Automated Material Handling System) 및 장비 간에 기판을 자동으로 이송하기 위한 표준 동작을 설명합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D51 — FPD 생산에서 도구 끄기/켜기 처리를 위한 단일 기판의 핸드셰이크 프로토콜 사양

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델

SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스

SEMI E40 — 공정 관리 표준

SEMI E41 — 예외 관리(EM) 표준

SEMI E53 — 이벤트 보고

SEMI E90 — 기판 추적 사양

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