SEMI D54 - FPD 生産に おける基板管理(SMS-FPD) -

Abstract

本standaredは， global Flat Panel Display – Factory Automation Committee で技術的に承認されている。現版は2009 年5 月13 日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2009 年6 月にwww .semi.org 에서 2009 년 7 월에 CD-ROM을 사용할 수 있습니다.

本文書는

¶¶ 7.3.4.1 ， 10.2.3.4 ， 10.2.3.5 ， 10.2.3.6 .に変更が加えられている。

FPD

生産現場において自動化の対応が進んでいるが，現状は各工場が独自の仕様により製造装置の制御を行っているこ。のために製造装置の自動化対応のcostや立ち上げ期間という面で大きなrosを招いている.mata,基板sizeがより大きなものへと移行することにより基板の枚葉搬送など新たなニーズに対応する必要もある.本書は, FPD生産現場において自動材料搬送System( AMHS )や製造装置の基板受け渡しに関する自動化のための標準的な挙動を記述するものである.

本文書は，

FPD 生産現場に導入される製造装置への基板搬入出を行うためのトランスファポint（受け渡しポジョン）におけるホst・製造装置間の通信を扱うstandadeである.

本文書は，自動および手動での基板搬送についててホストが情報を知り，その役割を果taし易くするスタンダードを定義するものである。mata，製造装置における材料処理を制御するために有用になることも意図としている.具體的には, 以下の内容を提供する.

• 製造装置上のトランスファポイント(受け渡しポジsion)のObjekto定義
• 모델명
• 製造装置上のトランスファポイント(受け渡しポジtion)のObjektoへのsur-biscomand
• 製造装置上のトランスファポイント（受け渡しポジtion）の挙動

本書は，製造装置における基板搬入出を行うための受け渡しポjisionを明確に定義し，基板受け渡しの制御を行う上で有用となるintafeースに関しての記述を行っているが，工場内に設置された基板搬入出を行うための

AMHS にも適用可能である。ただし，それら製造装置以外に適用する場合は，各設備me-ca-にて適用性を判断し，実装すべきである。

참조된 SEMI 표준

SEMI D51 — FPD 생산에서 도구 끄기/켜기 처리를 위한 단일 기판의 핸드셰이크 프로토콜 사양

SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델
SEMI E39 — 개체 서비스 표준: 개념, 동작 및 서비스
SEMI E40 — 공정 관리 표준
SEMI E41 — 예외 관리(EM) 표준
SEMI E53 — 이벤트 보고
SEMI E90 — 기판 추적 사양

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