SEMI D53 - 평면 패널 디스플레이(FPD) 펠리클 사양 -

개정: SEMI D53-0421 - 현재

개정

Abstract

이 사양은 마스크에 사용되는 펠리클 필름의 표준 스탠드 오프, 투과율 및 강도를 정의합니다.


이러한 치수는 평면 패널 디스플레이 제조에 주로 사용되는 마스크용 펠리클에 적용됩니다. 마스크 크기는 330 × 450mm에서 1220 × 1400mm 범위를 지정합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI D6 — 액정 디스플레이(LCD) 마스크 기판 사양

개정 내역

SEMI D53-0421(기술 개정)

SEMI D53-0708(재승인 0815)

SEMI D53-0708(최초 공개)

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