SEMI D52 - 기판 ID의 기준 위치 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 평면 패널 디스플레이 - 공장 자동화 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2008년 5월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2008년 6월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

E 이 표준은 오류를 수정하기 위해 2008년 9월 편집상 수정되었습니다. ¶ 6.1.3 및 ¶ 6.1.4가 변경되었습니다.

SEMI D32는 하나의 Bare Glass ID 위치만 지정하지만 크기가 커짐에 따라 효율적인 작동을 위해 여러 개의 기판 ID를 할당해야 합니다. 따라서 이 표준은 SEMI D32를 기반으로 효율적인 작동을 위해 기판 ID 위치를 지정합니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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