SEMI D51 - FPD 생산에서 공구 끄기/켜기 취급을 위한 단일 기판의 핸드셰이크 방법 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 평면 패널 디스플레이 – 공장 자동화 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2009년 5월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2009년 6월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. 원래는 2008년 3월에 출판되었습니다.

FPD 생산에서 대형 기판 크기로의 이동으로 인해 AMHS(Automated Material Handling System), 로봇 및 컨베이어의 광범위한 결합 사용과 함께 단일 기판 이송에 대한 수요가 증가하고 있습니다. 한편, 각 FPD 팹은 단일 기판 이송에 대해 서로 다른 핸드셰이크 사양을 사용하므로 비용 증가, 배송 및 테스트 지연과 같은 문제가 발생합니다. 이러한 문제를 해결하기 위해서는 단일 기판을 공정 장비로 이송하기 위한 핸드셰이크 방법을 정의하는 것이 필수적입니다. 이 규격의 목적은 현재 각 FPD 팹에서 서로 다른 단일 기판 이송을 위한 핸드셰이크 방법을 표준화하는 것입니다. 이를 통해 장비의 설계, 생산, 설치 등의 효율성을 높이고 비용을 절감할 수 있을 것으로 기대된다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D44 — 도구에서 처리하기 위한 단일 기판의 기준 위치에 대한 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.