SEMI D49 - ID 판독기 위치를 지정하기 위해 장비에 로드/언로드하기 위한 단일 기판 방향 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 평면 패널 디스플레이 - 공장 자동화 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2007년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2007년 6월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

이 표준은 SEMI D44 — Specification for Reference Position of Single Substrate for Handing On On에 규정된 가상 기준선으로 표시된 로드/언로딩을 위한 단일 기판의 방향을 보다 명확하게 지정하여 단일 기판 ID 판독기 위치를 추가로 지정하기 위한 것입니다. 도구.

참조된 SEMI 표준

SEMI D44 - 공구에 전달하기 위한 단일 기판의 기준 위치에 대한 사양

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