SEMI D48 - Handing Off/On Tool용 ID 판독기의 기준선을 지정하기 위한 기판 ID의 기준 위치 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 평면 패널 디스플레이 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2007년 9월 5일에 글로벌 감사 및 리뷰 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2007년 10월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.

장비, AMHS(장비, 로더/언로더 및 로봇 포함), 기판, 기판 ID 간의 위치 관계를 명확히 하여 ID 2차원 코드(이하 2D-ID) 판독기의 기준선을 정의합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D9 — FPD 기판용 용어

SEMI D24 — 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판 사양

SEMI D32 — 오리엔테이션 코너 통합을 통한 유리 FPD 기판의 정보 관리 개선을 위한 사양

SEMI D44 - 공구에 전달하기 위한 단일 기판의 기준 위치에 대한 사양

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