SEMI D44 - 공구에서 전달하기 위한 단일 기판의 기준 위치에 대한 사양 -

Abstract

이 표준은 글로벌 평면 패널 디스플레이 - 공장 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 개정판은 2006년 5월 16일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2006년 6월에 www.semi.org에서 사용할 수 있었습니다. E 이 표준은 오류를 수정하기 위해 2007년 2월에 편집상 수정되었습니다. ¶ 6.2.2.4가 변경되었습니다.

이 규격은 FPD 제조 장비의 위치, 기판의 위치, AMHS가 기판을 제조 장비에 로드 및 언로드할 때 각 위치를 설명하는 데 필요한 상호 위치 관계를 지정하는 기준선을 정의합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D9 — FPD 기판용 용어
SEMI D24 — 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.