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SEMI D43 - FPD 제조를 위한 AMHS의 기계적 진동 테스트 방법 -
Abstract
이 표준은 글로벌 평면 패널 디스플레이 - 공장 자동화 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2005년 9월 8일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2005년 10월에 www.semi.org에서 볼 수 있었습니다.
FPD 제조에서 고객은 운송 중 핸들링 장비로 인해 발생하는 핸들링 카세트의 진동에 대한 요구 사항이 있습니다. 그러나 측정 방법과 측정 위치가 불분명합니다. 이 테스트 방법은 측정 방법과 측정 위치를 명확히 합니다. 이 규격은 취급에 사용되는 AMHS와 카세트 사이의 접점에서 발생하는 진동에 대한 측정방법 및 측정점을 규정한다.
참조된 SEMI 표준
없음.
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D04300 - SEMI D43 - FPD 제조를 위한 AMHS의 기계적 진동 테스트 방법
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