SEMI D42 - 초대형 마스크 기판 케이스 사양 -

Abstract

이 규격은 평판 디스플레이(FPD) 제조 공정에 사용되는 초대형 기판 케이스에 대한 규격을 정의합니다.

이 표준에서 정의한 사양은 다음에 적용됩니다. FPD 마스크 제조에 사용되는 기판 재료를 담는 케이스 프로세스. 이 정의된 마스크 크기에 대한 객관적인 기판 범위 표준은 850 × 1,200mm 이상입니다.

기판의 크기가 커짐에 따라 마스크 기판의 자동 핸들링이 필수적입니다. 이 사양은 케이스 내부의 마스크 기판 처리 용량을 정의합니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI D42-0421(기술 개정)

SEMI D42-0308(재승인 0815)

SEMI D42-0308(기술 개정)

SEMI D42-0305(최초 게시됨)

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