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SEMI D40 - FPD기초의 「타원미」(に関する用語) -
Abstract
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본스탄다드하,
Flat Panel Display - Factory Automation Global Technical Committee 에서 技術的に承認 されたもので, Japanese Flat Panel Display - Factory Automation Committee 가 直接責任を負うものである。현재는 2004 년 4 월 30 일 일본 지역 표준 위원회にて承認されている。 2004年6月にまずwww.semi.orgで入手可能になり, 2004年7月発行に至る。
本文書は,
FPD基板が静的に保持された場合の物理的搬送に関する用語とその定義を定める.ここで扱う用語と定義は,
FPD製造における前工程ならびに後工程の双方の基板に適応されるものとする. 참조된 SEMI 표준 세미 D9
세미 D25
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D04000 - SEMI D40 - FPD기초의 「타원미」(に関する用語)
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