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SEMI D38 - LCD 마스크 품질 영역 가이드 -
Abstract
이 표준은 Flat Panel Display – Materials & Components Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2017년 1월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2004년 3월에 출판되었습니다. 이전에 2011년 2월에 게시되었습니다.
이 가이드는 LCD 마스크의 품질 영역을 정의합니다.
이 가이드는 주로 액정 디스플레이 제조에 사용되는 마스크에 적용됩니다. 마스크 크기는 202.8 × 202.8mm에서 1220 × 1400mm 범위를 지정합니다.
가장자리 길이가 200mm 미만인 기판은 반도체 마스크 사양을 따릅니다(SEMI P1 참조).
참조된 SEMI 표준 SEMI D6 — 액정 디스플레이(LCD) 마스크 기판 사양
SEMI P1 — 경질 표면 포토마스크 기판 사양
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D03800 - SEMI D38 - LCD 마스크 품질 영역 가이드
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