SEMI D28 - AGV(Automated Guided Vehicle), RGV(Rail Guided Vehicle) 및 MGV(Manual Guided Vehicle)를 사용하는 평면 패널 디스플레이 재료 취급 장비와 도구 포트 사이의 기계적 인터페이스 사양 -

Abstract

이 표준은 Flat Panel Display - Factory Automation Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2008년 5월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2008년 7월 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 2001년 11월에 출판되었습니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양은 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 프로세스 도구의 도구 포트에 대한 공통 기능 요구 사항 세트를 정의합니다. 이러한 표준화된 기능 요구 사항은 AGV, RGV 및 MGV 장비와 공정 도구의 인터페이스를 용이하게 하기 위한 것입니다. 이러한 표준은 AGV, RGV 및 MGV를 사용하여 자재 취급 장비에서 선택의 자유를 유지하면서 비용 효율적인 인터페이스를 촉진하기 위한 것입니다.

이 사양은 도구 포트 위나 주변, 도구 면 앞이나 위의 기계적 기능을 정의합니다. 이러한 기능은 AGV, RGV 및 MGV의 특정 기능을 위한 것이지만 인터페이스 요구 사항은 특정 전송 형태의 홍보를 피하기 위한 것입니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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