SEMI D27 - 평판 디스플레이 장비 통신 인터페이스 가이드 -

Abstract

이 가이드는 글로벌 평면 패널 디스플레이 위원회의 기술 승인을 받았으며 북미 평면 패널 디스플레이 위원회의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 2000년 8월 28일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 2000년 10월 출간 예정.

평판 디스플레이 제조 시설에서 성공적인 통합 및 자동화를 위한 장비 통신 기능을 구현하기 위한 가이드입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)

SEMI E23 — 카세트 전송 병렬 I/O 인터페이스 사양

SEMI E30 — SEMI 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델

SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS), 일반 서비스

SEMI E37.1 - 고속 SECS 메시지 서비스, 단일 세션 모드(HSMS-SS)

SEMI E84 — 향상된 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.