SEMI D26 - 평판 디스플레이용 대면적 마스크에 대한 임시 사양(북미) -

개정: SEMI D26-1000 - 비활성

개정

Abstract

이 사양은 글로벌 평면 패널 디스플레이 위원회에서 기술적으로 승인했으며 북미 평면 패널 디스플레이 위원회의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 2000년 7월 14일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 2000년 8월 SEMI OnLine에서 처음 사용 가능; 2000년 10월 출간 예정.

이 사양은 평면 패널 디스플레이 산업을 위한 넓은 영역 마스크를 지정하고 주문하는 데 도움이 되는 일련의 표준을 설정합니다. 주요 목표는 주기 시간을 개선하고 프로세스 효율성을 주문하며 마스크 제조업체와 고객 모두의 전체 제조 비용을 줄이는 것입니다. 이 사양은 신흥 시장인 북미 지역에서 사용하기 위한 것입니다. 그러나, 본 명세서의 적용 가능성은 이 지역에만 제한되거나 한정되지 않는다. 이 표준은 대면적 마스크를 지정, 제조 및 주문하기 위한 공통 요구 사항 세트에 대한 북미의 요구 사항을 해결하기 위해 개발되었습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D6 — 평면 패널 디스플레이 마스크 기판의 가장자리 길이 및 두께 사양
SEMI P1 — 경질 표면 포토마스크 기판 사양
SEMI P5 — 펠리클 사양
SEMI P6 — 포토마스크 등록 표시 사양

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