SEMI D24 - 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판 사양 -

Abstract

이 표준은 평면 패널 디스플레이 – 공장 자동화 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2006년 5월 16일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2006년 7월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 이용 가능; 2000년 2월에 처음 출판되었습니다.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 표준은 평면 패널 디스플레이를 제조하는 데 사용되는 유리 기판의 선택된 기하학적 요구 사항을 지정합니다.

이 표준은 평면 패널 디스플레이의 반복 가능한 제조와 모든 공급업체의 기판 균일성을 보장하기 위해 유리 기판에 대한 사양 수준을 설정하기 위한 것입니다. 이 표준은 또한 운송 및 자동화 카세트뿐만 아니라 프로세스 도구 내의 모든 기계적 인터페이스에서 호환성을 보장합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D3 — 평면 패널 디스플레이 기판의 품질 영역 사양
SEMI D4 — 평면 패널 디스플레이 기판을 참조하는 방법
SEMI D5 — 평면 패널 디스플레이 기판용 표준 크기
SEMI D6 — 액정 디스플레이(LCD) 마스크 기판 사양
SEMI D7 — FPD 유리 기판 표면 거칠기 측정 방법
SEMI D9 — FPD 기판용 용어
SEMI D12 — 평면 패널 디스플레이(FPD) 기판의 에지 조건에 대한 사양
SEMI D15 — FPD 유리 기판 표면 파형 측정 방법

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