SEMI D20 - FPD 마스크 결함 용어 -

개정: SEMI D20-0706(재승인 0221) - 현재

개정

Abstract

이 문서는 FPD 마스크에 대한 결함 용어를 정의합니다. 이 기준은 기술회의, 업무협의 등에서 사용되어야 할 용어의 개념을 명확히 하고 마스크에 대한 표준화를 도모함을 목적으로 한다.


이 용어는 평면 패널 디스플레이 제조에 주로 사용되는 포토마스크에 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI D20-0706(재승인 0221)

SEMI D20-0706(재승인 0815)

SEMI D20-0706(기술 개정)

SEMI D20-1000(기술 개정)

SEMI D20-93E(편집 개정)

SEMI D20-93(최초 게시됨)

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