SEMI D18 - 평면 패널 디스플레이 기판의 수평 운송 및 보관에 사용되는 카세트 사양 -

Abstract

이 사양은 글로벌 평면 패널 디스플레이 장비 위원회에서 기술적으로 승인했으며 북미 평면 패널 디스플레이 위원회의 직접적인 책임입니다. 1998년 8월 15일 북미 지역 표준 위원회에서 승인한 현재 버전. 1998년 9월 www.semi.org에서 처음 사용 가능. 1999년 2월 출간 예정.

E 이 문서는 서식 오류를 수정하기 위해 2000년 10월 편집상 수정되었습니다. 그림 5가 변경되었습니다.

이 표준은 평면 패널 디스플레이(FPD) 제조 시설에서 0.7mm-1.1mm 두께(최대)의 유리 기판을 수평으로 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트를 지정합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D3 — 평면 패널 디스플레이 기판의 품질 영역 사양
SEMI D5 — 평면 패널 디스플레이 기판용 표준 크기
SEMI D6 — 평면 패널 디스플레이 마스크 기판의 표준 가장자리 길이 및 두께
SEMI D9 — 평면 패널 디스플레이에 대한 정의

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