SEMI D17 - 평면 패널 디스플레이 유리 기판 배송에 사용되는 카세트의 기계적 사양 -

Abstract

이 사양은 Global Flat Panel Display – Equipment Committee에서 기술적으로 승인했으며 North American Flat Panel Display Committee의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 1999년 12월 15일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 2000년 1월에 처음 사용할 수 있습니다. 2000년 2월에 출판될 예정입니다. 원래 1998년 9월에 출판되었습니다. 이자형 이 표준은 SEMI E44의 철회를 반영하기 위해 2003년 1월 편집상 수정되었습니다. 섹션 4.1이 변경되었습니다.

이 표준은 기판 피니셔에서 디스플레이 제조업체로 그리고 프로세스 추가 사용자 간에 평면 패널 기판을 배송하는 데 사용되는 카세트의 선택된 요구 사항을 지정합니다.

이 문서는 SEMI D18, 평면 패널 디스플레이 기판의 수평 운송 및 보관에 사용되는 카세트 사양의 관련 치수 데이터를 통합합니다.

이 표준은 재사용 가능한 카세트에 대한 사양 수준을 설정하여 기판 무결성을 손상시키지 않고 조직 간에 깨끗한 유리 기판 및 프로세스 추가 기판을 배송하기 위한 것입니다. 이 표준은 일반적인 기계적 인터페이스에서 모듈성과 호환성을 보장하면서 혁신에 대한 최소한의 제한을 두는 적절한 수준의 사양을 설정하기 위한 것입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D18 — 평면 패널 디스플레이 기판의 수평 운송 및 보관에 사용되는 카세트 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.