SEMI D16 - 평면 패널 디스플레이 재료 취급 시스템과 도구 포트 간의 기계적 인터페이스 사양 -

개정: SEMI D16-0998 - 비활성

개정

Abstract

이 사양은 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 프로세스 도구의 도구 포트에 대한 기능 요구 사항을 정의합니다. 이러한 기능 요구 사항은 기능 요구 사항을 표준화하여 도구에 대한 운송 장비의 인터페이스를 용이하게 합니다. 이러한 표준은 재료 취급 장비에서 선택의 자유를 유지하면서 비용 효율적인 인터페이스를 촉진하기 위한 것입니다.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI D5 — 평면 패널 디스플레이 기판용 표준 크기
 SEMI D11 — 평면 패널 디스플레이 유리 기판 카세트 사양

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