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SEMI D16 - FPD소재 핸드링시스템 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は, 평판 디스플레이 장비 위원회(Flat Panel Display Equipment Committee) 에서 의견을 수렴하여 북미 평판 디스플레이 위원회(North American Flat Panel Display Committee )에서 의견을 수렴했습니다. 현재는 1998년 7월에 북미 지역 표준 위원회 (North American Regional Standards Committee) 에서 의견을 밝혔습니다. 1998 .年7月にまずSEMI On Lineで入手可能になり, 1998年9月発行に至る.本仕様は
FPD製造に使用するprosetestールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する.これらの主要要求事項は，それらを標準化する ことによって，搬送装置とツール間のintafeースをうまく機能することにある.この標準化は，Materialhandring装置の選択に自由度を持taせて，cost低減に配慮したintafeースを奨励する ことを目的とする。
これらスタンダードは，PROCESTERPORTポートに関する機械的特徴について規定し，mat，ツールの前面ないし表面特徴についても規定する。これら特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものでは無.ールポートと，コンベヤのような連続した直接
WIP搬送のintaferes，あるいは，AGVのような当面の個別設計ビークルとのintafeーs，に有効である.枚葉搬送の場合にも適用する. 참조된 SEMI 표준 SEMI D5 — 평면 패널 디스플레이 기판용 표준 크기
SEMI D11 — 평면 패널 디스플레이 유리 기판 카세트 사양
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