SEMI D15 - FPD가라스기스기포노스케이팅 방법 -

Abstract

本測定方法は, Global Flat Panel Display Committee で技術的に承認されたもので， 일본 FPD 재료 부품 위원회 が直接責任を負うものである.現版は， 2003 년 4 월 28 일 일본 지역 표준 위원회 にて承認されている。 2003 年6 月にまずwww.semi.org で入手可能になり， 2003 年7 月発行に至る。初版は1996 年12 月発行。

この文書は，触針式，光学触針式測定器および光学干渉計式平面度測定器を使用した， FPDgaras基板の表面うねりの測定方法について規定する。

참조된 SEMI 표준

SEMI D3 — 평면 패널 디스플레이 기판의 품질 영역 사양
SEMI D9 — 평면 패널 디스플레이 기판에 대한 정의

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