SEMI D11 - 평면 패널 디스플레이 유리 기판 카세트 사양 -

Abstract

이 표준은 평면 패널 디스플레이 – 공장 자동화 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2009년 5월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 2009년 7월 www.semi.org에서 제공됩니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2003년 7월.

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 평판 디스플레이(FPD)용 서브어셈블리 및 마스크의 제조 및 처리에서 유리 기판과 함께 사용되는 카세트에 대해 설명합니다.

이 문서는 많은 양의 직사각형 FPD 기판을 담는 카세트에 적용됩니다. 선택된 용어와 정의 ​​및 요약 사양이 포함되어 있습니다. 단일 기판 카세트에 대한 사양은 다른 문서에서 개발됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI D3 — 평면 패널 디스플레이 기판의 품질 영역 사양
SEMI D5 — 평면 패널 디스플레이 기판용 표준 크기
SEMI D6 — 액정 디스플레이(LCD) 마스크 기판의 모서리 길이 및 두께 사양
SEMI D9 - FPD 기판용 용어
SEMI D21 — 평면 패널 디스플레이 마스크에 대한 정의
SEMI E1 — 3인치, 100mm, 125mm 및 150mm 플라스틱 및 금속 웨이퍼 캐리어 사양

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