SEMI D9 - FPD 기판용 용어 -

Abstract

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이 문서는 평면 패널 디스플레이(FPD) 기판 표면 내부 및 표면의 재료 및 결함과 FPD 기판의 치수, 열, 화학적, 광학 및 기계적 특성에 대한 용어 및 정의를 제공합니다.

이러한 용어와 정의는 FPD 제조에 사용되는 전면 및 후면 기판 모두에 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI D3 — 평면 패널 디스플레이 기판의 품질 영역 사양

SEMI D5 — 평면 패널 디스플레이 기판용 표준 크기

SEMI D7 — FPD 유리 기판 표면 거칠기 측정 방법

SEMI D11 — 평면 패널 디스플레이 유리 기판 카세트 사양

SEMI D12 — 평면 패널 디스플레이(FPD) 기판의 에지 조건에 대한 사양

SEMI D15 — FPD 유리 기판 표면 파형 측정 방법

SEMI D24 — 평면 패널 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판 사양

개정 내역

SEMI D9-0303(재승인 0321)

SEMI D9-0303(재승인 0515)

SEMI D9-0303(재승인 0709)

SEMI D9-0303(기술 개정)

SEMI D9-1101(기술 개정)

SEMI D9-94(최초 게시됨)

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